○ 포항가속기연구소는 오는 12월 중 마이크로 정밀 금형 제작 (LIGA) 기술 교육을 실시할 예정이니 많은 참가 바란다.
1. LIGA가공기술이란?
- 방사광을 이용한 LIGA 가공기술은 가공방법, 가공재료의 다양성, 정밀도 면에서 우수성을 지님. 마이크로 크기의 정밀 금형 제작에 가장 큰 장점을 지닌 기술로서 기존의 가공기술과는 달리 일반적으로 마이크로미터 크기의 정밀도를 가지며, 또한 크기는 수 마이크로미터에서 수 센티미터에 달하는 크기의, 다양한 재료의 금형을 제작할 수 있음.
- 보다 세밀한 공정을 거칠 경우 나노미터급의 정밀 가공과 수십 센티미터에 달하는 크기의 정밀 금형까지 활용이 가능함.
- LIGA기술은 방사광 가속기에서 발생하는 강한 세기의 X선과 반도체 공정 기술을 접목한 기술임.
2. 교육목적 : LIGA 기술홍보와 새로운 정밀금형 제작기술의 산업체로의 응용확대를 위하여 실무 위주의 소규모 공정 교육을 실시하고자 함.
3. 교육시기 : 2006년 12월 예정 (향후 년3회 교육진행예정)
4. 교육기간 : 1박 2일
5. 교육장소 : 포항공과대학교 포항가속기연구소
6. 교육인원 : 8~10 명 (2개조실습)
7. 교육내용 - 이 론 *가속기 소개 및 이용방법 *LIGA 기술 개요 *반도체 공정 기술 소개 *X-선 마스크의 제작 *단위공정 및 전주 - 실 습 *응용 장비 개요 및 이용방법 *X-선 마스크 제작 실습 *금형 설게 및 사진 식각 공정 실습 *기판 제작 및 단위 공정 실습 *전주 도금 실습 및 정밀 금형 제작
■ 신청 및 문의처 : 포항가속기연구소(Dr. 장석상, Tel : 054-279-1402) * 교육비용 및 숙박 등 자세한 사항은 포항가속기연구소로 문의하시기 바라며, 기타 자세한 사항은 http://pal.postech.ac.kr를 참조하시기 바랍니다. * 보다 자세한 내용은 첨부문서 참조
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